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用于制造集成电路的电子领域中的硅片和微电路；

在电子领域，用于集成电路制造的硅片和微电路是重要组成部分。其涉及背景、基础、容量、芯片、电路、计算机等众多方面，涵盖了从材料到制造工艺的诸多环节，如晶体沉积、设计开发、器件生产等，是半导体工业中具有重要地位的科学与技术成果。

关键词

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