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用于先进半导体生产厂洁净室内晶圆的自动化物料搬运系统吊舱
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在先进半导体生产工厂的洁净室内,用于晶圆的自动化物料处理系统吊舱。该系统涉及半导体电子的生产制造,涵盖工厂、设施、硅片的加工等环节。在这一领域,运用了先进技术,包括自动化机器人转移、输送线、料盒运输、自动化设备等,涉及工业、工程创新及物流等方面,助力计算机处理器、数字芯片、微芯片等的节点开发与生产。
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关键词

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